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晶體爐下傳動部件1
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詳情

坩堝在爐內有效行程 400mm
下 傳 動 坩堝轉速范圍 1.0~20.0rpm


慢速:0.020~1.000mm/min

坩堝升速 快速:>100mm/min
動 態 精 度 堝升速度精度 <2%
堝轉速度精度 <2%
堝升爬行 升速0.05mm/min時≤0.01mm
運行時坩堝桿頂端圓跳動 ≤0.02mm

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