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籽晶在爐內有效行程 | 2800mm |
| 上 傳 動 | 籽晶轉速范圍 | 2.0~30.0rpm |
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慢速：0.20~8.00mm/min |
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籽晶拉速 | 快速：＞500mm/min |
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晶升速度精度 | ＜2% |
| 動 態(tài) 精 度 | 晶轉速度精度 | ＜2% |
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晶升爬行 | 升速0.5mm/min≤0.01mm |
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籽晶擺動量 | 晶轉高轉速＜2mm |
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